【適用氣體】
腐蝕性,毒性,易燃,超高純氣體(半導(dǎo)體):NF3、SiH4、BF3、SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。
【特征 1】 成功削減約60%的死角空間,清潔性能,耐腐蝕性更出眾
①氣體很難在閥體內(nèi)滯留,閥的主件不會(huì)受到功能損壞或腐蝕。
②可保證氣體純度,對(duì)半導(dǎo)體品質(zhì)的影響降低到最低限度。
【特征 2】 Cv值0.4∽0.6
①適用于液化氣的大流量閥門,也可用于壓縮氣體。是劃時(shí)代的產(chǎn)品。
②進(jìn)出口螺紋及形式由客戶指定的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)。
【特征 3】 采用特殊的平墊片
①可減輕因扭力過大導(dǎo)致的墊片變形。
參數(shù):
最高工作壓力 | 15MPa; 20MPa |
使用溫度 | -20℃∽+65℃ |
鋼瓶接口 | JIS B8246 V2 EN629 25E 3/4-14NGT可選 |
充裝接口 | CGA/DISS/JIS/DIN/BS可選 |
氦檢漏(Pa.m3/sec) | 1.0X10 ̄?以下 |
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