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電子特氣領(lǐng)域

EGVN栓隔膜閥

  • 【特點(diǎn)】將閥門內(nèi)部的死空間減少約60%的新一代閥門,閥體使用SUS316L不銹鋼。清除性能和耐腐蝕性大幅 提高。采用最適合氣體的高CV值設(shè)計(jì),可對(duì)應(yīng)壓縮氣體。可以根據(jù)用途選擇接觸氣 體部位座椅的材質(zhì)。
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【適用氣體】

腐蝕性,毒性,易燃,超高純氣體(半導(dǎo)體):NF3、SiH4、BF3、SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高純氣體及混合氣體。

【特征 1】 成功削減約60%的死角空間,清潔性能,耐腐蝕性更出眾

①氣體很難在閥體內(nèi)滯留,閥的主件不會(huì)受到功能損壞或腐蝕。

②可保證氣體純度,對(duì)半導(dǎo)體品質(zhì)的影響降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.4∽0.6

①適用于液化氣的大流量閥門,也可用于壓縮氣體。是劃時(shí)代的產(chǎn)品。

②進(jìn)出口螺紋及形式由客戶指定的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)。

【特征 3】 采用特殊的平墊片

 ①可減輕因扭力過大導(dǎo)致的墊片變形。


參數(shù):

最高工作壓力

15MPa;  20MPa

使用溫度

-20℃∽+65

鋼瓶接口

JIS B8246 V2 EN629   25E 3/4-14NGT可選

充裝接口

CGA/DISS/JIS/DIN/BS可選

氦檢漏(Pa.m3/sec)

1.0X10 ̄?以下


上一個(gè):G-12銅角閥 下一個(gè):EGPA氣動(dòng)栓隔膜閥

座機(jī)電話:0512-62986512 / 0512-62986522     傳真:0512-62986532     公司地址:蘇州工業(yè)園區(qū)通園路199號(hào)聯(lián)發(fā)工業(yè)園區(qū)6棟2F
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